| 书名 | 纳机电系统/微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |
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| 作者 | (法)劳伦·特拉夫格//朱利安·阿尔卡莫内 |
| 出版社 | 机械工业出版社 |
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| 简介 | 内容推荐 本书介绍了MEMS (微机电系统) 向NEMS (纳机电系统) 的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺, 为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。 |
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