本书共分为12章, 从第1章共性的设计理论和实现方法出发, 对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括: 第2章的一分为二微波功分器, 第3章的间接加热热电式功率传感器, 第4章的直接加热热电式功率传感器, 第5章的电容式功率传感器, 第6章的电容式和热电式级联功率传感器, 以及集成MEMS系统, 第7章的在线电容耦合式微波功率检测器, 第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器, 第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器, 第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究 ; 最后, 第12章进行了总结和展望。