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书名 基于机械-化学方法的微纳制造技术
分类 科学技术-工业科技-电子通讯
作者 史立秋
出版社 电子工业出版社
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简介
内容推荐
本书共6章, 叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析, 并对后期的应用进行系统的研究。
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更新时间:2025/11/21 21:09:32